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Medientyp: Buch Titel: Thin film materials : stress, defect formation and surface evolution Beteiligte: Freund, L. B. [VerfasserIn]; Suresh, S. [VerfasserIn] Körperschaft: Cambridge University Press Erschienen: Cambridge; New York; Melbourne: Cambridge University Press, 2009 Ausgabe: First paperback edition Umfang: xviii, 750 Seiten; Illustrationen, Diagramme Sprache: Englisch ISBN: 9780521529778; 9780521822817 RVK-Notation: UP 7550 : Herstellung dünner Schichten incl. Epitaxie-Schichten, Dünnschichttechnik UP 7500 : Allgemeines Schlagwörter: Festkörper > Dünne Schicht > Mechanische Eigenschaft Entstehung: Anmerkungen: