• Medientyp: E-Book; Hochschulschrift
  • Titel: Spectroscopic ellipsometry for the in-situ investigation of atomic layer depositions
  • Beteiligte: Sharma, Varun [VerfasserIn]
  • Erschienen: 2014
    Online-Ausg.
  • Sprache: Englisch
  • Identifikator:
  • Art der Reproduktion: Online-Ausg.
  • Entstehung:
  • RVK-Notation: ZN 4150 : Dünnschichttechnologie
  • Schlagwörter: Hochschulschrift
  • Anmerkungen:
  • Information zum Bestand: Elektronischer Volltext - Zugang über WWW
  • Zugangsstatus: Freier Zugang
  • Rechte-/Nutzungshinweise: Urheberrechtsschutz