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Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: Spectroscopic ellipsometry for the in-situ investigation of atomic layer depositions Beteiligte: Sharma, Varun [VerfasserIn] Erschienen: 2014 Online-Ausg. Sprache: Englisch Identifikator: Art der Reproduktion: Online-Ausg. Entstehung: RVK-Notation: ZN 4150 : Dünnschichttechnologie Schlagwörter: Hochschulschrift Anmerkungen: Information zum Bestand: Elektronischer Volltext - Zugang über WWW Zugangsstatus: Freier Zugang Rechte-/Nutzungshinweise: Urheberrechtsschutz