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Heinrich, Anett [VerfasserIn]

Spektroskopische Ellipsometrie zur Bestimmung der Strukturparameter von Fotomasken - [1. Aufl.]

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  • Medientyp: Buch; Hochschulschrift
  • Titel: Spektroskopische Ellipsometrie zur Bestimmung der Strukturparameter von Fotomasken
  • Beteiligte: Heinrich, Anett [VerfasserIn]
  • Erschienen: München: Verl. Dr. Hut, 2015
  • Erschienen in: Elektrotechnik
  • Ausgabe: 1. Aufl.
  • Umfang: I, 137 S.; Ill., graph. Darst; 21 cm
  • Sprache: Deutsch
  • ISBN: 384392113X; 9783843921138
  • RVK-Notation: ZQ 3900 : Berührungslose Messverfahren allgemein
  • Schlagwörter: Hochschulschrift
  • Entstehung:
  • Hochschulschrift: Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Fak. Elektrotechnik und Informationstechnik, Diss., 2015
  • Anmerkungen:

Exemplare

(0)

Bereichsbibliothek DrePunct – Freihand

  • Status: Ausleihbar

Bereichsbibliothek DrePunct – Magazin

  • Signatur: 2015 8 018787
  • Barcode: 34118417
  • Status: Ausleihbar, bitte bestellen

Zentralbibliothek – Magazin

  • Signatur: 2015 8 018785
  • Barcode: 34118419
  • Status: Ausleihbar, bitte bestellen