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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Herstellung von organischen mikroelektronischen Bauelementen mittels Flash-Mask-Transfer-Lithographie Beteiligte: Burghart, Markus [VerfasserIn] Erschienen: 2015 Umfang: 143 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Deutsch RVK-Notation: ZN 4170 : Fotolithographie; Maskierung (Elektronenstrahllithographie; Röntgenstrahllithographie) Schlagwörter: Hochschulschrift Entstehung: Hochschulschrift: Dresden, Techn. Univ., Fak. Elektrotechnik und Informationstechnik, Diss., 2015 Anmerkungen:
Zentralbibliothek – Magazin Signatur: 2015 8 021952 Barcode: 34118778 Status: Ausleihbar, bitte bestellen > Bestellen möglich - bitte anmelden
Bereichsbibliothek DrePunct – Magazin Signatur: 2015 8 021954 Barcode: 34118779 Status: Bestellen zur Benutzung im Haus, kein Versand per Fernleihe, nur Kopienlieferung > Bestellen möglich - bitte anmelden