Line edge roughness in optical critical dimension metrology

Medientyp: Buch; Hochschulschrift
Titel: Line edge roughness in optical critical dimension metrology
Beteiligte: Bilski, Bartosz [VerfasserIn]
Körperschaft: Universität Stuttgart
Erschienen: Stuttgart: Institut für Technische Optik der Universität Stuttgart, 2016
Erschienen in: Universität Stuttgart: Berichte aus dem Institut für Technische Optik ; 81
Umfang: xxix, 121 Seiten; Illustrationen, Diagramme
Sprache: Englisch
ISBN: 9783923560806
Schlagwörter: Fotolithografie
Entstehung:
Hochschulschrift: Dissertation, Fakultät für Konstruktions-, Produktions- und Fahrzeugtechnik der Universität Stuttgart, 2015
Anmerkungen:
Weitere Bestandsnachweise
0 : Berichte aus dem Institut für Technische Optik

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