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Medientyp: Buch Titel: Plasma Electronics : Applications in Microelectronic Device Fabrication Beteiligte: Makabe, Toshiaki [VerfasserIn]; Petrović, Zoran Lj. [VerfasserIn] Erschienen: Boca Raton: CRC Press, 2016 Ausgabe: Second Edition Umfang: xxxv, 376 Seiten; Diagramme, Illustrationen Sprache: Englisch ISBN: 9781138034150; 9781482222050 RVK-Notation: ZN 4100 : Allgemeines Entstehung: Anmerkungen:
Bereichsbibliothek DrePunct – Freihand Signatur: ZN 4100 M235(2) Barcode: 33721779 Fällig am: 02.05.2024 Status: Ausgeliehen, Vormerken möglich > Vormerken möglich - bitte anmelden