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Medientyp: Buch Titel: Crystal growth and evaluation of silicon for VLSI and ULSI Beteiligte: Eranna, Golla [VerfasserIn] Erschienen: Boca Raton; London; New York: CRC Press, 2016 Ausgabe: First issued in paperback Umfang: xvii, 411 Seiten; Illustrationen Sprache: Englisch ISBN: 9781138034198; 9781482232813 RVK-Notation: ZN 4952 : Schaltungen der Grösstintegration (VLSI; ULSI) ZN 3460 : Halbleiterwerkstoffe Entstehung: Anmerkungen: