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Medientyp: E-Book Titel: A Self-Consistent Model for Thermal Oxidation of Silicon at Low Oxide Thickness Beteiligte: Gerlach, Gerald [VerfasserIn]; Maser, Karl [VerfasserIn] Erschienen: New York: Hindawi, 2016 Umfang: 1 Online-Ressource Sprache: Englisch Identifikator: RVK-Notation: UA 1000 : Referateblätter und Zeitschriften Entstehung: Anmerkungen: Aus: Advances in Condensed Matter Physics (2016). ISSN: 1687-8124. DOI: /10.1155/2016/7545632 Information zum Bestand: Elektronischer Volltext - Zugang über WWW Zugangsstatus: Freier Zugang Rechte-/Nutzungshinweise: Urheberrechtsschutz