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Medientyp: Buch Titel: Fundamentals of ion-solid interaction : a compact introduction Beteiligte: Möller, Wolfhard [VerfasserIn] Körperschaft: Institut für Ionenstrahlphysik und Materialforschung Erschienen: Dresden: HZDR, Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf, 2017 Erschienen in: Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf: Wissenschaftlich-technische Berichte ; 073 Umfang: 101 Seiten; Illustrationen, Diagramme Sprache: Deutsch RVK-Notation: UP 9350 : Ionenimplantation allgemein, Etching, Sputtering Schlagwörter: Forschungsbericht Entstehung: Anmerkungen: Literaturverzeichnis: Seite 92-101 Weitere Bestandsnachweise 0 : Wissenschaftlich-technische Berichte