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Medientyp: Buch Titel: Practical MEMS Beteiligte: Kaajakari, Ville [VerfasserIn] Erschienen: Las Vegas, Nevada: Small Gear Publ., 2009 Umfang: XVI, 478 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Englisch ISBN: 0982299109; 9780982299104 RVK-Notation: ZN 3750 : Mikrosystemtechnik Schlagwörter: Mikromechanik > MEMS > Mikrosensor Entstehung: Anmerkungen: Literaturverz. S. [447] - 467