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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Telezentrische Deflektometrie zur Nanotopographiemessung von Halbleiterscheiben Beteiligte: Tobisch, Alexander [VerfasserIn] Erschienen: Erlangen; Nürnberg, [2017] Umfang: 232 Seiten; Illustrationen, Diagramme Sprache: Deutsch RVK-Notation: ZQ 3900 : Berührungslose Messverfahren allgemein Schlagwörter: Hochschulschrift Entstehung: Hochschulschrift: Dissertation, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg, 2017 Anmerkungen: Zusammenfassung in deutscher und englischer Sprache