> Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Gasphasenabscheidung zur Herstellung von Halbleiterstrukturen auf der Basis oxidischer Kupferverbindungen Weitere Titel: Abweichender Titel: Halbleiterstrukturen auf der Basis oxidischer Kupferverbindungen Beteiligte: Wagner, Alexander [VerfasserIn]; Bakin, Andrey [AkademischeR BetreuerIn]; Kowalsky, Wolfgang [AkademischeR BetreuerIn] Erschienen: München: Verlag Dr. Hut, 2017 Erschienen in: Elektrotechnik Ausgabe: 1. Auflage Umfang: II, 129 Seiten; Illustrationen, Diagramme; 21 cm x 14.8 cm, 213 g Sprache: Deutsch ISBN: 3843931623; 9783843931625 Schlagwörter: Halbleiterwerkstoff > Kupferoxid > Beschichtung > CVD-Verfahren > PVD-Verfahren Entstehung: Hochschulschrift: Dissertation, Technische Universität Carolo-Wilhelmina zu Braunschweig, 2016 Anmerkungen: Literaturverzeichnis: Seite 115-129 Zusammenfassung in deutscher Sprache