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Medientyp: Buch Titel: Fotolithografie : Grundlagen der Mikrostrukturierung Beteiligte: Koch, Christian [VerfasserIn]; Rinke, Titus J. [VerfasserIn] Körperschaft: MicroChemicals GmbH Erschienen: Ulm: MicroChemicals GmbH, 2017 Ausgabe: 1. Auflage Umfang: 205 Seiten; 180 Illustrationen; 24.9 cm x 17.2 cm, 700 g Sprache: Deutsch ISBN: 3981878205; 9783981878202 RVK-Notation: ZN 4170 : Fotolithographie; Maskierung (Elektronenstrahllithographie; Röntgenstrahllithographie) Schlagwörter: Fotolithografie Entstehung: Anmerkungen: